振动问题是衡量一台压缩空气流量计工业应用好坏的一个重要指标。目前,很多工业用户之所以对压缩空气流量计的应用失去信心, 在很大程度上是由于振动因素影响。工业中的振动是普遍存在的,目前较先进的压缩空气流量计都有一定的抗振动能力, 对于一般的工业振动大部分都能消除。一般的工业振动频率大都在几赫到几千赫,压缩空气流量计的漩涡频率正好落在这个范围之内,本文以电容式、压电式、超声波式压缩空气流量计为例来说明其抗振性问题。
1.电容式压缩空气流量计抗振动问题
电容式压缩空气流量计以E+H公司生产的Prowirl70为代表, 它采用差动开关电容(DSC) 传感器, 用来检测漩涡压力脉冲, 差动电容结构如图1所示:
抗管道振动和流体振动能力: 当振动方向在纵向(顺流向) 或与漩涡发生体轴线相平行的方向振动时,由振动所产生的惯性力同时作用在振动体及电极上,使振动体都在同方向产生挠曲变形, 由于设计时保证了振动体与电极几何结构与尺寸相匹配, 使它们的变形量一致, 差动信号输出为0, 从而使这两个方向上的振动所产生的影响基本消除了。

但是, 抗横向(与漩涡升力方向一致) 振动能力仍然很弱,因为在某一时刻,往复振动只在一个方向上对振动套筒发生应力,如果振动明显,必然在输出信号上迭加振动分量, 使输出信号偏离真实值。电容式压缩空气流量计在频率范围为1～ 500Hz的纵向以及与发生体轴线相平行的方向的任何振动以及高达1g 振动加速度冲击基本能够消除,所以本流量计具有二维方向的抗振动补偿功能。
2.压电应力式压缩空气流量计抗振动问题
压电应力式压缩空气流量计以YOKOGAW A 的YF100E、Ro semo unt的8800A、F+P的V T/VR型为代表。
2.1 YOKOGAWA的YF100E的抗振动设计

YOKOGAW A的YF100E采用两片圆形压电元件, 它们上、下封装在漩涡发生体内部(不与流体直接接触) , 以此来感受漩涡升力和振动应力。每片压电元件沿中性面分割成两个对称的半圆, 分别处于中性面的两边, 且极化方向相反。两片压电元件采用并联方式,每片压电元件的两半片组成一个电极,两电极从上下两片极性相反的电荷而引出。三个不同方向的振动力产生的电荷信号极性如图2所示:
a 振动方向与漩涡升力方向相同。此方向上的振动噪声不能*消除。
b 振动方向与流体方向相同。此方向上的振动不能产生噪声信号。
c 振动方向与发生体轴向平行。此方向上的振动不能产生噪声信号。
由此可见, YF100E同样能抗二维振动(流动方向上及与发生体轴向平行的方向上) , 但抗横向振动(升力方向) 能力仍然较弱。
2.2　F+ P的V T /V R抗振动设计
F+ P压缩空气流量计采用对称差动传感器设计消除振动影响,即用四只压电敏感元件构成涡街传感器,以安装法兰为中心,两对反并联压电元件封装在上、下对称部位,每对压电元件又以中性面为中心,分置中性面两侧, 如图3, 当振动作用在X方向或Z方向时, 四只压电元件产生电荷相互抵消,如图4,起到了X方向及Z方向的振动补偿功能。当漩涡升力交替作用在Y方
向上时, 只有中性面下两片压电晶体产生差动电荷信号, 如图5, 由于两片压电片为并联方式, 所以输出信号加倍。

当振动信号作用在Y方向时, 显然振动信号迭加到漩涡升力上, 此方向的振动仍不能克服。
由此可见, 此传感器结构具有抗X方向, Z方向二维振动能力, 对Y方向的振动干扰能力很弱。
Ro semount 8800A智能压缩空气流量计采用质量平衡结构从机械上消除管道振动(或流体振动) 影响, 与YF100E相似, 它只能克服流动方向及与漩涡发生体相平行方向的振动, 而对升力方向上的振动仍然无法*克服。
总之, 压电式压缩空气流量计具有二维方向(顺流向和漩涡发生体相平行方向)抗振动能力, 无论如何, 它抗升力方向上的振动仍然是很弱的。
1. 3 超声波压缩空气流量计— — 真正的抗三维振动压缩空气流量计
超声波压缩空气流量计目前成熟产品的厂家有日本OV AL公司(气体) , 东机工公司(液体) , 横河电机的UYF (液体)。
利用超声波作为检测元件的压缩空气流量计是将超声波发射源和超声波接收器按一定位置安装在壳体外,如图6。当漩涡通过超声波线束时, 接收器接收到的超声波线束速度发生变化, 检测速度变化的频率作为漩涡的频率信号, 通过电子线路处理输出能够远传的信号。由于避开了检测漩涡升力的方法,故它有别于压电应力式、电容式涡街检测方法,即使配管振动和流体振动在各部位产生应力,也不会产生敏感的噪声信号,故获得本质上的高抗振性, 而其测量精度和结构尺寸等指标也与其它压缩空气流量计相似, 本流量计具有良好的抗三维振动能力, 抗振动加速度达3g 以上。

综上所述, 电容式、压电应力式、超声波式压缩空气流量计都有较好的抗振动能力, 是目前市场上比较的品种。电容式和压电应力式只能抗二维振动,而超声波具有抗三维振动能力。因此, 在一般场合, 小于1g振动加速度, 振动频率小于500HZ、振幅<2. 1mm(用手摸有强烈的振感,有握不住的感觉) ,三种流量计都能满足要求,但在振动特别强烈的场合,或有升力方向振动的场合, 选用超声波压缩空气流量计则是比较合适的。
必须特别指出, 由于振动加速度是振幅和振动频率的函数, 管道振幅小, 振动加速度小; 振动频率小,加速度亦小, 反之亦然。管道支撑只能减小振幅, 但不能减少振动频率。因此, 在选择流量计安装位置时, 振动频率是一个不可忽视的因素。好在一般工业频率都比较低(从几赫到几千赫) , 只要振幅不是太大, 以上几种型式的压缩空气流量计均可以满足要求。
同一种尺寸的压缩空气流量计, 用在液体上的抗振动能力比用在气体上强,这是由于气体密度小,所产生漩涡升力较小的缘故。同样,用在大流量上比用在小流量计抗振性强,因为大流量产生的漩涡比小流量更强烈。
因此, 根据介质密度和流量选择压缩空气流量计时要加以注意。必须特别注意抗二维振动的压缩空气流量计的安装,如果水平安装的压缩空气流量计其振动干扰方向是与漩涡发生体相平行的方向, (此方向的振动是可以消除的) ,但是, 当将压缩空气流量计转过90度, 则与漩涡发生体相平行的方向上的振动对压缩空气流量计来说则变为升力方向的振动了,会产生明显的振动干扰信号,这是不允许的。很多压缩空气流量计厂家说明书声称其流量计可以任意角度安装,恐怕此种说法欠妥。除非系统没有任何振动或振动干扰很弱, 在这种情况下是可以任意角度安装的,否则,应避免振动方向与漩涡升力方向相一致的安装。

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